校準：定期用標準厚度試塊（如廠家提供的校準片）校準儀器，避免長期使用導致的誤差偏移；

表面清潔：測量前需清除涂層表面的油污、灰塵、氧化層，否則會導致讀數(shù)偏大；

測量點選擇：避免在邊緣、凹陷或凸起處測量，需在平整區(qū)域取 3~5 個點平均值，確保數(shù)據(jù)代表性；

環(huán)境控制：高溫、濕度大、強磁場環(huán)境可能影響精度（如磁性膜厚計需遠離強磁鐵），需在儀器規(guī)定的環(huán)境條件下使用。