隔膜真空泵是一種容積式真空泵,它通過柔性隔膜的往復運動來產生真空。以下是關于它的詳細介紹:
隔膜泵的泵體由一個氣缸組成,隔膜在氣缸內上下運動,將壓縮腔室與驅動裝置隔離,進氣閥和排氣閥均為壓力控制閥。隔膜通過連桿與曲軸相連,真空泵運行時,在電機的驅動下,曲軸旋轉并帶動隔膜往復運動。當隔膜下移時,壓縮腔室容積擴大,壓力降低,氣體從高壓區域通過進氣口進入泵內;當隔膜向上運動時,壓縮腔室容積減小,氣體被壓縮并通過排氣閥排出。隨著隔膜不斷上下運動,實現持續的抽氣和排氣過程。
隔膜:是泵的核心部件,通常由高性能彈性體或含氟聚合物制成,具有良好的柔韌性和耐腐蝕性,其作用是通過往復運動改變泵腔容積,同時將泵腔與驅動機構密封隔離。
泵頭:與隔膜一起構成密封泵腔,其內部幾何形狀通常設計成凹陷的 “圓頂" 形狀,以提高效率和真空度,材料多為聚四氟乙烯、不銹鋼或耐化學性樹脂等。
閥門系統:由進氣閥和排氣閥組成,通常為壓力激活的單向閥,如柔性活瓣閥、簧片閥或球閥,用于控制氣體的進出方向。
傳動系統:一般包括電機、曲軸、連桿等部件,其作用是將電機的旋轉運動轉換為隔膜的往復運動。