隔膜:是泵的核心部件,通常由高性能彈性體或含氟聚合物制成,具有良好的柔韌性和耐腐蝕性,其作用是通過往復(fù)運(yùn)動(dòng)改變泵腔容積,同時(shí)將泵腔與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)密封隔離。
泵頭:與隔膜一起構(gòu)成密封泵腔,其內(nèi)部幾何形狀通常設(shè)計(jì)成凹陷的 “圓頂" 形狀,以提高效率和真空度,材料多為聚四氟乙烯、不銹鋼或耐化學(xué)性樹脂等。
閥門系統(tǒng):由進(jìn)氣閥和排氣閥組成,通常為壓力激活的單向閥,如柔性活瓣閥、簧片閥或球閥,用于控制氣體的進(jìn)出方向。
傳動(dòng)系統(tǒng):一般包括電機(jī)、曲軸、連桿等部件,其作用是將電機(jī)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為隔膜的往復(fù)運(yùn)動(dòng)。